審決取消請求事件

事件の基本情報

この事件の代理人

• 高山宏志（原告代理人）
• 土屋知久（被告代理人）

争点（判決文より）

争点は，補正についての独立特許
要件の有無，補正前発明について進歩性の有無である。
１ 特許庁における手続の経緯
原告は，平成１８年５月１８日，発明の名称を「誘導結合プラズマ処理装置およ
びプラズマ処理方法（平成２３年９月１日付け補正により「誘導結合プラズマ処理
装置，誘導結合プラズマ処理方法およびコンピュータ読取り可能な記憶媒体」と補
正。甲１２）とする発明につき，特許出願（特願２００６－１３９０４２号，特開
２００７－３１１１８２号。甲３，４）をしたが，平成２４年２月２日付けで拒絶
査定を受けた（甲１４）。そこで，原告は，同年４月２７日，これに対する不服の
審判を請求すると同時に特許請求の範囲の変更を含む本件補正をした(甲１６)。特
許庁は，平成２５年２月２５日，本件補正を却下した上，「本件審判の請求は，成
り立たない。」との審決をし，その謄本は同年３月１２日，原告に送達された。
２ 本願発明の要旨
(1) 本件補正後の請求項１（補正発明）
「被処理基板を収容してプラズマ処理を施す処理室と，
前記処理室内で被処理基板が載置される載置台と，
前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給系と，
前記処理室内を排気する排気系と，
前記処理室の外部に誘電体部材を介して配置され，整合器を介して高周波電源に
接続されて高周波電力が供給されることにより前記処理室内にそれぞれ異なる電界
強度分布を有する誘導電界を形成する複数のアンテナ部を有する高周波アンテナと，
前記各アンテナ部を含むアンテナ回路のうち少なくとも一つに接続され，その接
続されたアンテナ回路のインピーダンスを調節するインピーダンス調節手段と
を具備し，
前記インピーダンス調節手段によるインピーダンス調節により，前記複数のアン
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テナ部の電流値を制御し，前記処理室内に形成される誘導結合プラズマのプラズマ
密度分布を制御するとともに，
アプリケーションごとに最適なプラズマ密度分布が得られる前記インピーダンス
調節手段の調節パラメータが予め設定され，所定のアプリケーションが選択された
際にそのアプリケーションに対応する前記インピーダンス調節手段の調節パラメー
タが予め設定された最適な値になるように前記インピーダンス調節手段を制御する
制御手段をさらに有することを特徴とする誘導結合プラズマ処理装置。」（下線部が
補正箇所）
(2) 本件補正前の請求項１（補正前発明）
「被処理基板を収容してプラズマ処理を施す処理室と，
前記処理室内で被処理基板が載置される載置台と，
前記処理室内に処理ガスを供給する処理ガス供給系と，
前記処理室内を排気する排気系と，
前記処理室の外部に誘電体部材を介して配置され，高周波電力が供給されること
により前記処理室内にそれぞれ異なる電界強度分布を有する誘導電界を形成する複
数のア

主文（判決文より）

原告の請求を棄却する。
訴訟費用は原告の負担とする。

出典

本ページは裁判所が公開する判例データに基づいています。